恒压式正压漏孔校准装置的设计  

Design of Pressure Leak Calibrator in Constant Pressure Mode

作　　者：冯焱[1] 张涤新[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,兰州730000

出　　处：《真空科学与技术学报》2007年第5期442-445,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

摘　　要：设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏孔。在装置的设计中,解决了计算机控制系统的设计、精密小活塞的加工和计量、平动机构的设计、恒温系统的设计等关键技术。装置的预计测量范围为4×10-7Pa.m3/s^5×10-5Pa.m3/s,标准不确定度小于5%。A novel type of pressure leak calibrator has been succesffully developed,based on automatic control of constat pressure. Discussion focuses on our solutions of the three major technical problems, including construction of a thermostat, metrology and fabrication of highprecision small piston, and precision of measurement and control, in the calibrator design, The anticipated measuremeent ranges from 4×10^-7Pa.m^3/s-5×10^-5Pa.m^3/s ^-1 with a combined relative standard uncertainty of less than 5%.

关 键 词：真空计量学 正压漏孔 漏率校准 校准装置 恒压法 

分 类 号：TB77[一般工业技术—真空技术]