利用MEMS实现可变波长通信用激光发光元件  

出　　处：《光机电信息》2007年第9期59-60,共2页OME Information

摘　　要：横河电机开发出可通过MEMS结构来改变面发光激光器（VCSEL）的波长的技术，并在“微机械／MEMS展”上进行了展板展示。展出元件中，通过金凸块接合技术层叠了基于磷化铟（InP）的VCSEL芯片、以及集成用于改变波长的MEMS部件的硅芯片。

关 键 词：MEMS结构 面发光激光器 发光元件 波长 信用 可变 接合技术 VCSEL 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]