Nova NanoSEM超高分辨率扫描电子显微镜  

出　　处：《电子显微学报》2007年第5期F0004-F0004,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：现代科学技术，特别是纳米技术、半导体等领域的高速发展对微观观察、表征和分析工具提出更高的、更苛刻的要求。目前的场发射扫描电子显微镜对新的应用要求面临越来越多难以克服的障碍，如：样品表面对电子束特别敏感，样品表面容易产生污染，样品不允许进行表面处理，样品上导电材料和非导电材料并存，等等。

关 键 词：场发射扫描电子显微镜 超高分辨率 非导电材料 现代科学技术 表面处理 纳米技术 微观观察 分析工具 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]