层析扫描声学显微镜的研究  

Research on scanning tomographic acoustic microscope

作　　者：杨立峰[1] 王亚非[1] 周鹰[1] 高椿明[1] 王占平[1] 

机构地区：[1]电子科技大学光电信息学院,成都610054

出　　处：《仪器仪表学报》2007年第9期1605-1608,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然科学基金(50506006)资助项目

摘　　要：为了获得被测样品三维信息同时具有较高的分辨率,在电子科技大学光电声学信息处理研究中心研制成功的激光扫描声学显微镜的基础上,通过检测电路、数据获取等方面进行的硬件改进以及相应的算法研究,获得了合理有效的重建数据,将非线性衍射层析成像算法引入到改进后的SIAM系统中,得到了层析扫描声学显微镜的样机,并且在实验上获得了清晰的集成电路样品的三维层析图像。In order to obtain unambiguous 3D images of individual depth planes （tomograms） within a specimen, based on the scanning laser acoustic microscope （SLAM） that was developed by UESTC, we improved the corresponding hardware in the measurement circuit, data acquisition of SLAM, and etc ; and introduced nonlinear inverse tomographic algorithm into the improved SLAM. A scanning tomographic acoustic microscope （STAM） prototype was developed. The superior resolution 3D tomography of IC sample was obtained by the STAM experimentally.

关 键 词：激光扫描声学显微镜 层析成像 正交解调器 超声波 重建算法 

分 类 号：TH742.64[机械工程—光学工程]