水热合成BaTiO_3薄膜及其微观结构分析  

HYDROTHERMAL BaTiOs THIN FILM ANDITS MICROSTRUCTURE ANALYSES

作　　者：许华平[1,2,3] 辛火平[1,2,3] 林成鲁[1,2,3] 江富民 殷庆瑞[1,2,3] 孟繁德[1,2,3] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 [2]中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室 [3]上海钢铁研究所

出　　处：《应用科学学报》1997年第1期112-116,共5页Journal of Applied Sciences

摘　　要：利用水热反应，成功地在１６０℃的低温下，直接在蒸钛硅衬底表面合成了多晶ＢａＴｉＯ３薄膜。扫描电镜（ＳＥＭ）观察发现薄膜的组织结构均匀、致密、平均晶粒尺寸约１００ｎｍ．对比快速热退火（ＲＴＡ）前后薄膜的扩展电阻深度分布、ＳＥＭ形貌象和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）谱发现：薄膜吕多层结构，退火前为立方ＢａＴｉＯ３／非晶ＢａＴｉＯ３－ｘ／Ｔ／Ｓｉ．退火后变为四方ＢａＴｉＯ３／Ｔｉ／Ｓｉ。Polycrystalline BaTiO3 thin film has been synthesized on Ti-covered silicon substrate at low temperature of 160℃ by hydrothermal method. lts micr- ostructure was dense and homogeneous, with average grain size of about 100 nm by scanning electron microscopic (SEM) observations. It can be found that a multi- laver sructure has, been formed according to the comparisons on X-ray diffraction. (XRD) patterns, SEM morphologies and spread resitance profiles of the samples before and after rapid thermal annealing. And the multilayer structure of cubic BaTiO3/TiOx/Ti/TiSi/Si after annealing.

关 键 词：水热法 薄膜 微观结构 钛酸钡 合成 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]