基于Parylene的柔性神经微电极的研制和表征  

Development and characterization of flexible Parylene-based neural microelectrodes

作　　者：李博[1] 惠春[1] 徐爱兰[1] 邢玉梅[1] 任秋实[2] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030 [2]上海交通大学生命科学技术学院,上海200030

出　　处：《传感器与微系统》2007年第10期101-102,113,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家"973"计划资助项目(2005CB7243002)

摘　　要：衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件，起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用。采用微细加工技术在新型柔性基底一聚对二甲苯（Parylene）上制作微电极阵列。阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺，并利用光学显微镜和电化学表征技术对微电极的表面形貌和电学性能进行了研究。结果表明：在工作频率范围内（10^4-10^5Hz），柔性神经微电极的阻抗值低（400-1000Ω），相位延迟小（-20°），适于用作视网膜修复。Substrate-integrated electrodes are the key components in implantable microsystems for recording of neural signals or electrical stimulation of nerves. A micro fabrication technique is introduced to fabricate muhielectrode arrays based on a new flexible substrate-Parylene. The process technology for Parylene-based microelectrode arrays is described. Surface topography and electrical properties of the microelectrodes are characterized by optical microscope and electrochemical method. The result indicates that in the working frequeney （10^4-10^5Hz）, the impedance is low （400 -1 000Ω） , and the phase angle is small （ -20°） , which is suit for the application of retinal renovation.

关 键 词：柔性基底 神经微电极阵列 聚对二甲苯 微细加工 

分 类 号：TP212.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]