新书推荐——薄膜晶体管（TFT）阵列制造技术  

出　　处：《现代显示》2007年第11期F0003-F0003,共1页Advanced Display

摘　　要：本书主要介绍非晶硅（amorphous silicon，a-Si）TFT阵列大规模生产的制造技术，共13章，内容从TFT元件的结构及特点，到TFT的检查与修复，包括TFT阵列制造清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不尉辑析和检查修复。本书从11可阵列大规模制造的角度，第一次比较全面地介绍了TFT LCD牛产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料规格、设备特性、

关 键 词：TFT阵列 制造技术 薄膜晶体管 SILICON 大规模生产 制造工艺技术 工艺技术管理 清洗工艺 

分 类 号：TN873.93[电子电信—信息与通信工程]