扫描探针显微镜在工业产品检测中的应用前景  

作　　者：戴长春[1] 黄桂珍[1] 白春礼[1] 张新文[2] 施倪承[2] 

机构地区：[1]中国科学院化学研究所 [2]中国地质大学材料科学与工程学院

出　　处：《物理》1997年第6期366-370,共5页Physics

摘　　要：讨论了扫描探针显微镜（ＳＰＭ）的应用领域和ＳＰＭ的发展现状，重点探讨了国产ＳＰＭ应用于信息产业、能源产业以及航空航天等工业领域中高新技术产品质量检测的方法、存在的问题。

关 键 词：扫描探针显微镜 工业检测 SPM 显微镜 

分 类 号：TG115.215[金属学及工艺—物理冶金] TN16[金属学及工艺—金属学]