铟锡氧化物薄膜的生产、应用与开发  

Production,Applications and Outlook of ITO Film

作　　者：文友[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院,北京100088

出　　处：《稀有金属与硬质合金》1997年第3期56-59,共4页Rare Metals and Cemented Carbides

摘　　要：介绍了铟锡氧化物（ITO）薄膜的特性、主要生产工艺及其在汽车、宇航、建筑、电子等领域的应用。并对该材料生产工艺及产品市场的发展前景进行了展望。The paper introduces the properties of ITO film. process technologies and its applications in the fields of automobile,aerospace,,construction,electronics, etc and outlooks the production and the market.

关 键 词：铟锡氧化物 薄膜 生产工艺 应用 

分 类 号：TM241[一般工业技术—材料科学与工程] TN104.3[电气工程—电工理论与新技术]