炉内气氛放电原因初探  

A Tentative Probe on the Reason of Electric Discharge of the Atmosphere in the Furnace

作　　者：纪慎功[1] 沈永宏[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《人工晶体学报》1997年第3期414-414,共1页Journal of Synthetic Crystals

摘　　要：晶体生长炉内气氛在一定条件下会产生静电放电，本文就其产生原因做一初步探索。众所周知，电介质中，气体的介电常数比液体或固体的小，在一定条件下比较低的电压就能产生放电。靠近气体的电介质表面上积累起静电荷时，表面上产生电场，它的强度按高斯定理是与表面电荷成正比的。如果表面电荷超过一定密度，由于静电就发生放电。炉内气氛放电形式主要是电晕放电。它是从导体前端射向气体的气体电晕，或者从导体前端发出并沿着固体电介质表面延射的沿面电晕，此外，与导体无关的电介质层间发生的沿面电晕，包括空隙放电和无声放电。沿面电晕主要是发生在气体中的放电。电晕放电同时在气体中产生分子的电离，产生许多电子和正离子。电子被电场加速向带正电部分运动；正离子被电场加速向带负电部分运动。电子（或负电子）和正离子相互进入极性相反的带电部分，而在这里被中和，失去电荷并停止放电。这在实际生长晶体时，发现电流突然增大又立即回复就属此种情况；由于静电引起带电而开始积累电荷，当表面电场超过击穿电场产生放电，这种过程反复进行形成间歇放电。它的周期由于带电速度加快而缩短。当带电速度快到某个值时，放电在瞬时内完全消失。一会强，一会弱的反复进行。在晶体生长中有时会遇到这样?

关 键 词：晶体生长炉 介电常数 炉内气氛 晶体生长 放电 

分 类 号：O781[理学—晶体学]