CaO-SnO_2薄膜乙醇气敏元件的研究  

STUDY OF DOPED SnO 2 THIN FILM GAS SENSORS

作　　者：王晓俊[1,2] 邹道文[1,2] 傅敏恭[1,2] 欧阳文[1,2] 

机构地区：[1]南昌大学高新技术研究所 [2]江西师范大学

出　　处：《南昌大学学报（理科版）》1997年第1期63-66,共4页Journal of Nanchang University(Natural Science)

基　　金：江西省自然科学基金;南昌大学基础理论基金

摘　　要：采用真空镀锡膜、锡膜氧化、浸泡掺杂的方法研制了掺ＣａＯ的ＳｎＯ２薄膜气敏元件。对乙醇、丙酮等８种气体的测试结果表明：掺ＣａＯ的气敏元件同未掺杂气敏元件相比，提高了对乙醇的灵敏度和选择性。提出了流过元件电流Ｉ的公式。The SnO 2 thin film gas sensor containing CaO has been studied,after Sn evaporated,in vacaum,Sn film oxided.The CaO-SnO 2 gas sensor improves the sensitivity and selectivity to C 2H 5OH.The formula of the electric current I which flows through the gas sersor is proposed.lt can half quantitatively explain the experiment phenomina.

关 键 词：掺杂 薄膜 气敏元件 氧化钙 氧化锡 乙醇 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] O623.41[自动化与计算机技术—控制科学与工程]