ATMI和IBM合作开发下一代半导体材料和制程技术  

出　　处：《电子工业专用设备》2007年第12期62-62,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：据Semiconductor International报道：ATMI与IBM签订了一项技术发展协议，将针对45nm及以下节点先进半导体材料和制程技术进行合作开发。该项合作将在ATMI在Connecticut州的总部和实验室以及IBM的Watson研究中心进行。

关 键 词：半导体材料 制程技术 合作开发 ATMI IBM SEMICONDUCTOR 下节点 实验室 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]