光学级透明金刚石膜的性质  

Properties of Optical-grade Transparent Diamond Film

作　　者：赵利军[1] 韩柏[2] 李博[3] 胡小颖[4] 

机构地区：[1]长春大学特殊教育学院,长春130022 [2]哈尔滨理工大学理学院,哈尔滨150040 [3]吉林大学原子与分子物理研究所,长春130012 [4]长春大学理学院,长春130022

出　　处：《吉林大学学报（理学版）》2008年第1期112-114,共3页Journal of Jilin University:Science Edition

基　　金：国家863计划项目基金(批准号:2002AA325090)

摘　　要：采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法在单晶硅片上制备光学级透明金刚石膜,利用傅里叶红外分光光度计和紫外-可见分光光度计分别测试不同厚度金刚石膜的红外光和紫外-可见光波段的透过率,并分析了测试结果.Microwave plasma chemical vapor deposition （MWPCVD） technique, as an electrodeless discharge and clean method, was adopted to prepare optical-grade transparent diamond films on single-crystal silicon substrates. And in order to understand their optical properties in detail, Fourier transform infrared （FTIR） spectrophotometer and ultraviolet-visible （ UV-vis ） spectrophotometer were employed to analyze their optical transmittance in IR region and UV region, respectively.

关 键 词：光学级透明金刚石膜 红外光透过率 紫外-可见光波段透过率 

分 类 号：O484[理学—固体物理]