电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展  

The Research and Application Evolvement of Electron Beam-Physical Vapor Deposition Technology

作　　者：刘景顺[1] 曾岗[2] 李明伟[2] 杨森[1] 郭洪飞[1] 

机构地区：[1]内蒙古工业大学材料科学与工程学院,呼和浩特010051 [2]哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨150001

出　　处：《材料导报》2007年第F11期246-248,255,共4页Materials Reports

基　　金：总装备部预研基金项目(No.51418040304HT0114)

摘　　要：概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。The recent research and application evolvement of electron beam physical vapor deposition（ EB- PVD）technology are reviewed in this paper. Some key points with emphasis on the main technological parameters（such as evaporation temperature,gas pressure,rate of evaporation and coacervation, heating-up temperature and so on） in progress and the formative mechanism of microstructure of supper-alloy sheet prepared by EB-PVD are expounded.

关 键 词：电子束物理气相沉积(EB-PVD) 应用 工艺参数 形成机理 

分 类 号：TG146.4[一般工业技术—材料科学与工程]