集成电路工业的废气处理  

作　　者：朱海英[1] 黄其煜[2] 

机构地区：[1]上海华虹NEC电子有限公司 [2]上海交通大学微电子学院

出　　处：《中国集成电路》2008年第2期52-54,86,共4页China lntegrated Circuit

摘　　要：集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气,含SiO2的含尘废气,以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等,这些工业废气中大部分成分是有毒有害的,必须进行有效的处理才能排入大气中。本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。

关 键 词：集成电路工业 废气 分类 处理方式 应用范围 

分 类 号：X76[环境科学与工程—环境工程]