基于光纤延时线的大尺寸测量方法  

作　　者：刘海滨[1] 张玉存[1] 周坤[1] 苏凤燕[1] 

机构地区：[1]燕山大学,秦皇岛066004

出　　处：《计量技术》2008年第2期7-9,6,共4页Measurement Technique

摘　　要：对激光热稳频技术的稳频原理和机理进行研究,提出双纵模激光空间合成场强分布为测量原理的大尺寸高精度测量方法,同时把光纤延时线、光纤组倍增和光开关倍增三级级联,应用光纤延时线代替扫描机构构造新型光学测试系统,实现无导轨大尺寸的高精度测量。采用波前探测和图像恢复技术相结合的波前修正系统,减小和消除激光束的变形和抖动。实验结果表明:该系统的重复性优于0.5μm,测量误差小于10μm。

关 键 词：大尺寸测量 光纤延时线 波前探测 

分 类 号：TG806[金属学及工艺—公差测量技术]