KLA—Tencor推出两款新型薄膜量测系统 扩充Aleris系列  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第3期83-84,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：KLA-Tencor公司近日推出Aleris8310和A-1efts8350，在Aleris系列薄膜量测系统中增添了两款新品。这些量测系统采用KLA-Tencor的最新一代宽带光谱椭圆偏光法（Broadband Spectroscopic Ellipsometry，BBSE）光学元件，让芯片制造商能够测量多层薄膜的厚度、折射率与应力来满足先进的薄膜度量要求。

关 键 词：KLA-Tencor公司 多层薄膜 量测系统 椭圆偏光法 芯片制造商 光学元件 折射率 光谱 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]