基于DBR的半导体晶圆制造生产调度研究  

Research of DBR Scheduling Method for Semiconductor Manufacturing

作　　者：丁小进 乔非[1] 李莉[1] 

机构地区：[1]同济大学 CIMS 中心,上海201804

出　　处：《机电一体化》2008年第3期29-31,38,共4页Mechatronics

基　　金：国家自然科学基金项目(No.70531020和No.60374005);973项目子任务(No.2002CB312202)资助。

摘　　要：在分析了存在重人流的半导体晶圆制造环境中实现DBR(drum buffer rope)调度难点的基础上,提出了半导体生产线的瓶颈识别算法和单产品类型制造环境下半导体生产线分层DBR调度思想;以HP24半导体生产线为模型,使用EM-PLANT软件进行仿真,验证了方案的可行性。DBR（drum buffer rope） theory was briefly presented, the diffculties in the production environment with re-en-trant flow was also expounded. A new scheduling method named different layers DBR scheduling for single product environ-ment is put forward. The new method proves to perform well by Em-plant emluator using HP24 module.

关 键 词：约束理论 瓶颈重入流 瓶颈识别 分层DBR 

分 类 号：TH162[机械工程—机械制造及自动化]