调制光谱仪的微型化研究进展  

Developments of the Micro Modulating Spectrometers

作　　者：孔延梅[1] 梁静秋[1] 梁中翥[1] 贺小军[1] 张军[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

出　　处：《半导体光电》2008年第1期1-5,共5页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：随着微加工技术的发展和日益成熟,微型化光谱仪的研究得以快速发展。和传统的微型光谱仪相比,基于调制原理的光谱仪具有高光通量、高分辨率的性能优势,可广泛应用于生物、化学、医学等许多领域中对微弱辐射信号的探测。介绍了几种类型的调制光谱仪的结构特点和关键技术,分析了设计与制作微型调制光谱仪过程中存在的一些关键问题与难点,并总结了该领域的研究进展和发展趋势。The maturation of the optical micro-electro mechanical systems technology has impulsed the development of the micro spectrometer. Compared to the traditional micro spectrometer, the spectrometer based on modulation can be used in biological, chemical and medical fields to detect the faint signals due to its inherent advantages. An overview of the developments of the micro spectrometer based on modulation is presented. The key problems in designing and fabricating the Fourier transform spectrometer （FTS） are discussed, and the progresses made worldwide in this field are also presented.

关 键 词：调制光谱仪 驱动器 微型化 傅里叶变换光谱仪 哈达玛变换光谱仪 

分 类 号：TH744.1[机械工程—光学工程]