溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电氧化物薄膜的研究进展  

Progress in Aluminum-doped ZnO Transparent Conducting Thin Films by Sol-gel Method

作　　者：徐模辉[1] 王华[2] 

机构地区：[1]桂林电子科技大学信息与通信学院,广西桂林541004 [2]桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,广西桂林541004

出　　处：《电工材料》2008年第1期31-36,共6页Electrical Engineering Materials

基　　金：广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)

摘　　要：溶胶-凝胶法是一种高效的制膜技术。本文综述了溶胶-凝胶法制备氧化锌铝(ZAO)透明导电氧化物薄膜(TCO)的原理、特点及研究进展,指出了采用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜今后急需解决的问题。Sol-gel method is a very efficient method, Which is Widely used to preparing thin films. The advances in the preparation of ZAO thin films by sol-gel method as well as its principle and characteristics are briefly reviewed. At the end of this paper, existing problems are also pointed out.

关 键 词：溶胶-凝胶法 氧化锌铝(ZAO) 透明导电氧化物薄膜(TCO) 

分 类 号：TM205.1[一般工业技术—材料科学与工程]