矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术  

作　　者：王秋蓉[1] 

机构地区：[1]辽宁石油化工大学,辽宁抚顺113001

出　　处：《煤矿安全》2008年第3期66-68,共3页Safety in Coal Mines

摘　　要：压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法。

关 键 词：压力传感器 敏感元件 温度补偿 

分 类 号：TD605[矿业工程—矿山机电]