“叉指”结构微加速度表的设计  

作　　者：何晓平 

出　　处：《中国工程物理研究院科技年报》2006年第1期248-249,共2页Annual Report of China Academy of Engineering Physics

摘　　要：利用MEMS（Micro-electro—mechanical-system）技术，设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70～70g，全量程重复性1‰。微加速度表参与重大飞行试验获得了完整数据。

关 键 词：加速度表 设计 结构 静电伺服 飞行试验 全量程 重复性 

分 类 号：V217[航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程] TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]