第十六讲 真空系统的操作与维护  

作　　者：张以忱[1] 

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2008年第2期77-79,共3页Vacuum

摘　　要：1.2.3.3 贮气罐 小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮气罐,设置在扩散泵和前级泵之间,贮存扩散泵排出的气体,设置贮气罐的原因有：

关 键 词：真空系统 维护 操作 贮气罐 扩散泵 真空抽气 前级泵 设置 

分 类 号：TB752.42[一般工业技术—真空技术] TK264.11[动力工程及工程热物理—动力机械及工程]