HMDS改性后的纳米氧化锌的湿度响应特性研究  

The Relative Humidity Sensitive Properties of Nanostructured ZnO Treated by HMDS

作　　者：吕家云[1] 张健[2] 周晓峰[2] 刘伟景[2] 

机构地区：[1]巢湖学院物理系,安徽巢湖238000 [2]华东师范大学电子科学技术系,上海200062

出　　处：《压电与声光》2008年第2期170-172,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：以石英晶体微天平传感器为平台,研究六甲基二硅胺烷(HMDS)处理前后的纳米ZnO作为敏感膜湿度敏感特性。用HMDS处理后的纳米ZnO膜表面呈厌水性,同未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比,对湿度的响应敏感度明显降低。进一步的研究发现,用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体,如乙醇等,仍有很好的响应。该特性可被用来开发具有对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。In this paper, we research on humidy sensitive properties of HMDS treated nano zinc oxide. We found nano ZnO treated by HMDS is less sensitive to relative humidy, but it is more sensitive to ethanol. It indicates that the HMDS treated nano zinc oxide can be used to detect the ethanol in high humidity environment.

关 键 词：石英晶体微天平 相对湿度 纳米ZNO 乙醇 六甲基二硅胺烷(HMDS) 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]