基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度  

The measurement of step height micro-topography based on wave cutting interference theory

作　　者：惠梅[1] 邓年茂[2] 杨佩原[3] 赵跃进[1] 

机构地区：[1]北京理工大学信息科学技术学院光电工程系,北京100081 [2]北京控制与电子技术研究所,北京100038 [3]中国兵器科学研究院,北京100089

出　　处：《光学技术》2008年第2期244-245,248,共3页Optical Technique

摘　　要：提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法。通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜,实现了对光束的微分剪切及复合偏振。利用矩阵分析法建立了该测量系统的数学模型,根据探测到的光强信息图,由光强与干涉相位差间的关系式提取到了测量区域的相位分布值,由位相与待测物纵向深度间的转换关系式,经图像重建后通过计算得到了台阶的表面高度信息。The measurement of micro-topography surface based on wave cutting interference theory is described.Beam splitter prism realizes the differential cutting and complex polarization.Math model is established based on matrix analyze.The phase distributing is obtained according to the relationship of intensity and phase,the value of micro-topography surface is obtained after image manipulation.Some technical difficulties existed in the surface microscopy are analyzed and solved.

关 键 词：波面剪切 台阶高度 偏振干涉 波面剪切 分光棱镜 

分 类 号：O436.2[机械工程—光学工程] O436.1[理学—光学]