导模法生长晶体研究进展  被引量:14

RESEARCH PROGRESS OF EDGE-DEFINED FILM-FED CRYSTAL GROWTH METHOD

在线阅读下载全文

作  者:杨新波[1] 李红军[1] 徐军[1] 程艳[1] 唐慧丽[1] 周国清[1] 

机构地区:[1]中国科学院上海光学精密机械研究所

出  处:《硅酸盐学报》2008年第A01期222-227,共6页Journal of The Chinese Ceramic Society

基  金:国家863计划项目(2006AA03A104);国家自然科学基金(60607015)资助项目。

摘  要:导模法是一种极具应用潜力的晶体生长方法,具有生长速度快,加工成本低的优点,广泛用于生长各种形状的晶体。对导模法的原理、特点和发展历史进行了简单介绍,着重论述了导模法在生长有形蓝宝石和硅晶体中的发展和应用,对目前导模法生长晶体过程中存在的问题做了简单的介绍。The edge-defined film-fed crystal growth method (EFG) is considered an excellent method and it is widely used for growing shaped crystals because of its fast growth speed and low processing cost. The principle, characteristics and history of the EFG method are reviewed, the application of EFG in shaped crystal growth, such as sapphire and silicon, is discussed in particular. The problems in EFG growth crystals are discussed.

关 键 词:导模法 蓝宝石 硅晶体 

分 类 号:TQ164[化学工程—高温制品工业]

 

参考文献:

正在载入数据...

 

二级参考文献:

正在载入数据...

 

耦合文献:

正在载入数据...

 

引证文献:

正在载入数据...

 

二级引证文献:

正在载入数据...

 

同被引文献:

正在载入数据...

 

相关期刊文献:

正在载入数据...

相关的主题
相关的作者对象
相关的机构对象