深亚微米超大规模集成电路多层互连技术新进展  

作　　者：李炳宗[1] 

机构地区：[1]复旦大学

出　　处：《上海微电子技术和应用》1997年第4期2-9,共8页

关 键 词：VLSI 多层互连技术 集成电路 

分 类 号：TN470.597[电子电信—微电子学与固体电子学]