BST薄膜非线性特性及机理研究  

Study on mechanism and nonlinear properties of BST thin films

作　　者：符春林[1] 杨传仁[2] 

机构地区：[1]重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆400050 [2]电子科技大学,四川成都610054

出　　处：《电子元件与材料》2008年第5期73-74,共2页Electronic Components And Materials

基　　金：国家“973”计划资助项目

摘　　要：钛酸锶钡（BaxSr1-xTiO3，简称BST）薄膜具有非线性强、漏电流小、居里温度可调等特点，因而在介质移相器、压控滤波器等方面有着广泛的应用前景。笔者对BaxSr1-xTiO3（x=0．45—0．90）系列陶瓷的晶体结构和介电性能、膜厚均匀性控制、BST薄膜的微结构（包括组成、晶体结构和电畴等）和介电非线性尺度效应、铁电薄膜介电非线性模型、薄膜型介质移相器的设计和制作等重要问题进行了研究，取得了以下研究结果：Barium strontium titanate （BaxSr1-xTiO3, BST） thin films are potential materials for the applications of microwave devices such as dielectric phase shifters and tunable filters due to their high dielectric nonlinearity, low leakage current and adjusting Curie temperature. The microstructures and dielectric properties of BaxSr1-xTiO3 （x = 0.45 - 0.9） ceramics, film thickness uniformity, microstructures （including composition, crystal structure and domain, etc） and size effect on dielectric nonlinearities of BST films, model for dielectric nonlinearity of ferroelectric films, design and fabrication of phase shifters were investigated. Moreover, there are a series of results as follows：

关 键 词：电子技术 钛酸锶钡 薄膜 介电非线性 模型 电畴 介质移相器 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学] TN713