单质量块的单轴集成惯性测量器件的设计  

The Design of the Single-Axis Integrated Inertia Measurement Device

作　　者：马宗敏[1] 石云波[1] 刘俊[1,2] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051 [2]加州伯克利大学机械工程系,伯克利USA CA94720

出　　处：《传感技术学报》2008年第4期600-603,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0259)

摘　　要：介绍了一种单质量块的单轴集成惯性测量器件的结构,提出一种可以利用一个敏感头同时测量某一方向加速度和陀螺信号的集成测量结构形式;同时建立了单轴集成测量器件的模型,并运用计算机辅助软件对其进行仿真,对惯性测量器件的加速度信号和陀螺信号的产生及仿真进行了阐述;最后,为了保证器件有高的成品率,对测量器件的版图进行了优化设计和修改;为了保证高的检测精度,还就测量器件的后续处理电路进行了研究。A single-chip integration inertia measurement device is designed, and the proposed sensor can detect the acceleration and angle velocity in the same direction at the same time. In the meantime, the model of the device is set up and simulated using soft wares. The signal of the accelerates and the angle velocity is represented too by simulation. In the end, for the purpose of high rate of finished products, the process map is optimized and modified; aiming at high detection accuracy, the subsequent circuit of the device is designed too.

关 键 词：单轴集成 建模 仿真 版图 处理电路 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]