一种PCVD用直流脉冲电源研制  

作　　者：刘军海[1] 陆明珠[1] 何家文[1] 

机构地区：[1]西安交通大学材料学院

出　　处：《表面技术》1997年第5期6-9,共4页Surface Technology

摘　　要：提出了一种PCVD炉用新型幅度调制型直流脉冲电源.它包括三相整流滤波电路、IGBT逆变电路、输出整流电路、输出取样电路、辅助电源电路、过流保护电路、高频脉冲发生及反馈控制单元、低频基波发生器电路等.三相整流滤波电路的输入端接外380V交流电源,其输出端经过IGBT逆变电路、输出整流电路到外部表面处理设备;低频基波实现对高频脉冲的幅度调制,取样电路和反馈控制单元完成输出脉冲电流的恒定、电平的钳位,另外低频基波和高频脉冲的频率和占空比均可调,所以它对PCVD、离子氮化炉等设备可提高最佳电源参数,使其表面处理工件的质量和稳定性得到一定幅度提高.

关 键 词：PCVD 脉冲电源 调制 表面处理 等离子体 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]