Fe-Zr-N合金薄膜的微结构对磁性能的影响  

作　　者：肖春涛[1] 耿胜利[1] 杨正 

机构地区：[1]兰州大学物理系,兰州730000

出　　处：《电子计算机与外部设备》1997年第5期29-30,共2页

基　　金：兰州大学博士科研启动基金

摘　　要：用射频反应溅射法在Ar＋N2混和气氛中制备了软磁性Fe－Zr－N薄膜，考察了样品的微结构和磁性能，并讨论了微结构对磁性的影响。所制备的Fe-ZR-N膜都是（110）取向的，晶粒细小。发现Zr的添加能有效地抑制Fe4N相的生成，而添加Zr和掺氮均有利于形成细晶粒结构，并改善软磁性能。

关 键 词：铁基薄膜 微结构 磁性能 合金薄膜 磁记录 

分 类 号：TQ581[化学工程—精细化工] O484.1[理学—固体物理]