电子工业中应用的真空技术与设备  

作　　者：董元昌 

机构地区：[1]中国电子专用设备工业协会

出　　处：《LSI制造与测试》1997年第4期1-3,共3页

关 键 词：电子工业 真空技术 设备 

分 类 号：F407.63[经济管理—产业经济] TN10[电子电信—物理电子学]