MEMS器件及其设备  

MEMS Device and its Equipment

作　　者：翁寿松[1] 

机构地区：[1]无锡市罗特电子有限公司,江苏无锡214001

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第6期15-18,38,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC。2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006～2011年年复合平均增长率为13%。2011年MEMS系统级市场将达720亿美元。MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS。MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域。MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点。MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用。

关 键 词：MEMS器件传感器MEMS MEMS市场 MEMS设备 

分 类 号：TN305.93[电子电信—物理电子学]