One-Dimensional InP-Based Photonic Crystal Quantum Cascade Laser Emitting at 5.36μm  

5.36μm InP基一维光子晶体量子级联激光器(英文)

作　　者：李路[1] 邵烨[1] 刘俊岐[1] 刘峰奇[1] 王占国[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2008年第7期1278-1280,共3页半导体学报（英文版）

基　　金：国家杰出青年科学基金(批准号:60525406);国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB604903)资助项目~~

摘　　要：An InP-based one-dimensional photonic crystal quantum cascade laser is realized. With photo lithography instead of electron beam lithography and using inductively coupled plasma etching, four-period air-semiconductor couples are defined as Bragg reflectors at one end of the resonator. The spectral measurement at 80K shows the quasi-continuous-wave operation with the wavelength of 5.36μm for a 22gm-wide and 2mm-long epilayer-up bonded device.制作了基于InP基量子级联激光器的一维光子晶体.采用普通光学曝光的方法代替电子束曝光,结合反应耦合等离子刻蚀,在激光器的一侧腔面制作出4个周期的空气/半导体对作为Bragg反射器.对于一个22μm宽,2mm长的正焊器件,80K下的光谱测试证实了其准连续激射,激射波长为5.36μm.

关 键 词：quantum cascade laser photonic crystal QUASI-CONTINUOUS-WAVE 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学]