军用HIC线键合常见可靠性问题的解决方案  

作　　者：李杰 

机构地区：[1]中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2008年第2期41-48,共8页

摘　　要：线键合工艺仍然是军用HIC的主要互联方式,在实际操作中时常会遇到一些问题,有些问题会影响到产品的可靠性,这对于要求高可靠性的军用电路是无法容忍的,本文对这些问题进行了罗列,并分析其成因,同时给出了相应的解决方法。

关 键 词：线键合 HIC 陷坑 键合拉力 自动键合 一致性界限 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学] TN45