MEMS压阻式加速度传感器的研究进展  

作　　者：范树新[1] 耿振亚[1] 聂丽梅[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《采矿技术》2008年第4期120-121,147,共3页Mining Technology

摘　　要：介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。

关 键 词：MEMS压阻式加速度传感器 研究现状 发展趋势 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]