岛津多道X荧光光谱仪真空泄露故障诊断  

HOW TO DIAGNOSE THE VACUUM SYSTEM LEAKAGE OF SHIMADZU MULTI-CHANNEL X-RAY FLUORESCENCE SPECTROMETER

作　　者：窦勇[1] 陈玲华[1] 季茜宇[1] 

机构地区：[1]安阳钢铁股份有限公司

出　　处：《河南冶金》2008年第4期28-29,共2页Henan Metallurgy

摘　　要：介绍了岛津多道X荧光光谱仪的工作原理及各种状态时真空系统的特点,对真空泄露的诊断方法进行了探索和总结。The paper introduced the principle of SHIMADZU multi - channel X - ray fluorescence spectrometer, discussed the characteristic of various vacuum system, and make a summary of the vacuum leakage troubleshooting method.

关 键 词：X荧光光谱仪 真空系统 泄露 诊断 

分 类 号：TH744.1[机械工程—光学工程]