质谱熔样系统的研究与改进  

Study and improvement on ablation system in mass spectrograph

作　　者：卢慧卿[1] 王宝光[1] 晁中元[1] 李亚标[1] 

机构地区：[1]天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《光学精密工程》2008年第8期1403-1410,共8页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.59875066)

摘　　要：为了提高质谱仪熔样系统的熔样精度、效率和自动化程度,以惰性气体同位素质谱仪为实验对象,对熔样系统的智能化进行研究。完成了激光熔样系统中二维样品台的重新设计,石墨炉进样系统的自动化设计。设计了一系列控制子程序,并对视觉系统进行了标定。标定后的激光熔样系统有很高的精度,重复性误差为0.005 mm。实验结果表明,改造后的熔样系统有很好的稳定性,提高了效率。In order to improve the ablation precision, efficiency and the automation of Laser Ablation System（LAS） in Mass Spectrograph（MS）, the intelligentization of laser ablation system was studied in MS by taking inert gas isotope-MS as an experimental subject. A two-dimensional sample workta- graphite furnace injection system was also given. A series of librate the vision system. After calibration ,the laser ablation peatability error of auto-focus is 0. 005 mm. The experimental her stability and work efficiency.

关 键 词：质谱仪 激光熔样系统 标定 智能化 

分 类 号：TH843[机械工程—仪器科学与技术]