内置式微型电液动力泵的研究  

THE EXPERIMENTAL STUDY OF ELECTROHYDRODYNAMIC MICROPUMP

作　　者：于翮[1] 孙翠霞[1] 俞坚[1] 

机构地区：[1]传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室北京工业大学,北京100022

出　　处：《工程热物理学报》2008年第10期1743-1745,共3页Journal of Engineering Thermophysics

基　　金：国家自然科学基金(No.50676001)

摘　　要：本文介绍了一种新型电子冷却技术—微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.In this paper, a novel electronics cooling technology-electrohydrodynamic （EHD） micropump was introduced. The EHD micropump with comb electrodes was fabricated using the technology of MEMS. The system performance has been tested driven by DC voltage and using HFE7100 as work fluid. Comparing to foreign researches,test has improved results.

关 键 词：电子冷却 微型电液动力泵 传热 

分 类 号：TK124[动力工程及工程热物理—工程热物理]