光电测量二维微角位移的新方法研究与实现  

作　　者：罗钧[1] 万文通[1] 卢嘉江[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400030

出　　处：《计量技术》2008年第9期12-15,共4页Measurement Technique

摘　　要：为了解决对旋转台定位精度校准的同时又能对其台面俯仰角度进行测量的问题,提出了一种光电测量二维微角位移的新方法。在激光自准直光路中,采用数字信号处理器(DSP)获取准直物镜焦平面上V字形分划板在自扫描光电二极管列阵(SSPA)上两次成像之间的位移量,根据光学成像原理与像的外形特征,建立了像的平面位移量与被测物体二维角位移量的关系式,计算出角位移量。此方法测量精度达到0.9″,满足校准的需要。

关 键 词：二维微角位移 激光自准直 数字信号处理器 自扫描光电二极管列阵 V形分划板 

分 类 号：TH822[机械工程—仪器科学与技术]