超精密测量技术动态  

作　　者：刘利 

出　　处：《机电一体化》1997年第5期11-13,共3页Mechatronics

摘　　要：始于60年代后期的超精加工技术,如今已在许多领域得以实用化;而超精密测量技术,则是评价超精加工技术的必不可少的手段。

关 键 词：超精加工 超精密测量 表面粗糙率 三维测量 

分 类 号：TG806[金属学及工艺—公差测量技术]