微喷测量中真空度对Ф2mm压电石英传感器的影响初探  

作　　者：温上捷[1] 胡杨[1] 李英[1] 金山[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院流体物理研究所101室,四川绵阳621900

出　　处：《高能量密度物理》2008年第3期130-132,共3页High Energy Density Physics

摘　　要：针对Ф2mm压电石英传感器有效测试面积小、信号弱、易受干扰的特点，对不同真空度、不同飞片速度下的空气冲击波压力进行计算分析，得出在20Pa以下的真空度中进行微喷测量时，残存空气对Ф2mm压电石英传感器的影响可以忽略；利用此条件下的实验数据，估算了影响Ф2mm压电石英传感器真空度的上限值。

关 键 词：真空度 微喷 压电石英传感器 空气冲击波 

分 类 号：X831[环境科学与工程—环境工程] TM561.2[电气工程—电器]