校准到亚微米级的精度  

OPTICAL GAGING PRODUCTS

出　　处：《现代制造》2008年第42期109-109,共1页Maschinen Markt

摘　　要：Etalon体积校准仪用于标示测量器械和机床的几何误差。将其放到测量系统上，激光束会锁定于附装在其探测系统的反射器之上。

关 键 词：OPTICAL 亚微米级 校准 精度 测量系统 几何误差 反射器 激光束 

分 类 号：TN820.84[电子电信—信息与通信工程] TP87[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]