接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置  

作　　者：谢春景[1] 

机构地区：[1]河北省廊坊市计量测试研究所

出　　处：《中国计量》2008年第10期77-77,共1页China Metrology

摘　　要：接触式干涉仪被广泛地用来检定（3～4）等量块,这种仪器的示值误差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一种不被注意的情况下，仪器的示值误差会达到0．3μm左右，这种情况在实际使用中又是可能出现的，因此有必要对此加以认识。

关 键 词：接触式干涉仪 自由状态 位置 示值误差 仪器 量块 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]