新型密封式精密钢带光栅线位移传感器的研制  被引量:3

Study of a New Linear Displacement Sensor with Sealed Ultra-long Precision Steel Belt Grating

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作  者:钟健[1] 许兴智 史淑华 张一钢 李岩 

机构地区:[1]深圳职业技术学院机电工程学院,广东深圳518055 [2]北京莱格超精光电研究所,北京100083

出  处:《机械与电子》2008年第10期69-71,共3页Machinery & Electronics

摘  要:研制了一种新型的密封式超长精密钢带光栅线位移传感器.该传感器采用了反射式精密超长计量钢带光栅尺作为测量基准尺,实现了大量程,并且依据激光光电扫描器拾取光栅莫尔条纹光电信号,提高了光栅付工作间隙量和测量的精度.实验的结果表明:传感器量程为3m,10m,50m时,其测量精度可以达到±5μm/m,±10μm/m,±20μm/m.A new linear displacement sensor with sealed ultra - long precision steel belt grating is studied. The wide - range displacement measurement is realized using the reflection precise ultra long metrologic steel belt grating as a survey datum ruler. The gap of the grating pair is increased and measurement accuracy is improved through the laser photoelectric scanner collecting Moire fringe photoelectric signals. The result indicates that measure accuracy of the sensor can reach ±5 μm/ m, ±10 μm/m and ±20 μm/m, respectively, when the range are 3 m,10 m and 50 m.

关 键 词:钢带光栅 大量程 激光光电扫描器 传感器 

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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