WSS的自动控制系统研制  

Automatically Controlling System for WSS

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作  者:赵德康[1] 

机构地区:[1]浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027

出  处:《光学仪器》1997年第6期31-35,共5页Optical Instruments

摘  要:在简要介绍光散射空间分布自动测量系统的基本组成的基础上,详细阐述了其自动控制系统的结构及其工作原理。After briefly introducing the structure of the Whole Space Scatterometer (WSS),this paper illustrated the structure and the principle of the automatically controlling system for WSS in details.

关 键 词:散射测量系统 自动控制系统 光散射 结构原理 

分 类 号:TH741.4[机械工程—光学工程] O436.2[机械工程—仪器科学与技术]

 

参考文献:

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