KLA-TENCOR推出磁盘驱动器基片和盘片缺陷检查的新技术  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第10期70-70,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：KLA-Tencor公司针对硬盘驱动器基片与盘片高级缺陷检查推出了Candela7100系列。7100系列建立在备受肯定且已量产化的Candela产品线基础上，专为帮助制造商识别与分类诸如凹陷、凸起、微粒及隐藏缺陷等亚微米级关键缺陷而设计，可以提升良率，降低检测的总成本。

关 键 词：KLA-Tencor公司 缺陷检查 磁盘驱动器 盘片 基片 技术 硬盘驱动器 亚微米级 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] TP333.35[自动化与计算机技术—计算机系统结构]