杜邦高性能弹性体推出KALREZ?8900部件  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第10期74-74,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上，杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez 8900全氟弹性体部件。Kakez 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命，减少了昂贵的设备停工时间，降低了设备拥有成本。

关 键 词：高性能弹性体 部件 杜邦 半导体设备 全氟弹性体 材料产业 过程开发 密封寿命 

分 类 号：TQ334.9[化学工程—橡胶工业] TP311.5[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]