多层结构钛酸锶铅薄膜及介电调谐与温度稳定性  

Preparation of Sandwich-Like Multilayered Pb_xSr_(1-x)TiO_3 Thin Film with Study of Dielectric Tunability and Temperature Stability

作　　者：吴文彪[1] 周栋义[1] 金灯仁[1] 孟中岩[1] 

机构地区：[1]上海大学材料科学与工程学院,上海200072

出　　处：《上海大学学报（自然科学版）》2008年第5期498-502,530,共6页Journal of Shanghai University:Natural Science Edition

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50332030)

摘　　要：在研究组分、溶胶浓度对钛酸锶铅（10ST）薄膜结构、介电、调谐性能等影响的基础上，设计一种以低损耗-高调谐-低损耗组分交替沉积的方法，研制了三明治多层结构的PST薄膜（PST20-40-20）．研究结果表明，这种三明治多层结构的薄膜表面致密，晶粒均匀，同时具有调谐率高、损耗低等特点，综合性能比单组分要好，其调谐率、优值分别为52和45．在20～100℃范围内调谐率变化幅度小于8％，提高了温度稳定性．A sandwich-like muhilayered lead strontium titanate PbxSr1-xTiO3 （PST20-40） thin film was fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates using the sol-gel technique. PST20-40-20 thin films have high tunability and low loss tangent. Tunability and FOM of PST20-40-20 thin films are 52 and 45, respectively. PST20-40-20 thin films have weaker temperature dependence, and the decreasing rate of tunability for PST20-40-20 thin films is about 8% at 20 ℃ to 100 ℃.

关 键 词：溶胶凝胶法 钛酸锶铅薄膜 多层结构 介电调谐性能 温度稳定性 

分 类 号：TQ17[化学工程—硅酸盐工业]