直线超声电动机在精密工作台中的应用  被引量:6

Application of Linear Ultrasonic Motor for Precise Stage

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作  者:许航[1] 

机构地区:[1]空军第一航空学院,信阳464000

出  处:《微电机》2008年第10期68-69,共2页Micromotors

摘  要:概括了传统精密工作平台的特征,综述了当今世界采用直线超声电机驱动的精密定位平台的研究现状及主要产品,列举了一些典型例子,并总结了采用直线超声电机驱动的精密定位平台的特点。Summarized some important characters of traditional precise stage, introduced the present situation of the research and development of precise stage with linear ultrasonic motor, and gave some typical examples, sumed up the character of this precise stage.

关 键 词:超声电动机 直线电动机 精密平台 

分 类 号:TM359.4[电气工程—电机]

 

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